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洁净室的照度控制

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A.提议新风系统历经集中化运输后再与送风混和，***厂净化工程价格，那样能够 降低表冷段的冷压力;B.这种方案一般能够 可用洁净度等级较高的如千级、万级或千级、十万级等较低的清洁无尘厂房。2、电子光学微电子技术制造行业洁净工程设计方案方案剖析之水冷柜机 增压风柜 高1效正压送风口与前种方案较为，它是相对性非常简单的***空调方案。它能够 大大的地变小机房的总面积，水冷柜机能够 依据实际的状况布局于较小机房内或洁净车间内，增压风柜还可以布局于机房内或吊在机房内或在隔层内。

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湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，***厂净化工程，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。